燒結爐是一種在高溫下，使陶瓷生坯固體顆粒的相互鍵聯，晶粒長大，空隙(氣孔)和晶界漸趨減少，通過物質的傳遞，其總體積收縮，密度增加，最后成為具有某種顯微結構的致密多晶燒結體的爐具。

　　真空燒結爐主要用于半導體元器件及電力整流器件的燒結工藝，可進行真空燒結，氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中一種新穎的工藝裝備，它設計構思新穎，操作方便，結構緊湊，在一臺設備上可完成多個工藝流程。亦可用于其他領域內的真空熱處理，真空釬焊等工藝。但是你知道真空燒結爐遇到以下三種情況可以采取的應急措施嗎？

　　一、停電

　　1、停電時，如果斷水，應立即接通備用的冷卻水，接通水源。

　　2、如果在非升溫、加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，繼續運轉如需要較長時間，則將設備保持原狀。

　　3、如果正在加熱和冷卻時，能夠盡快恢復時，重新啟動設備，如果需要較長時間時，則保持原狀，讓設備自然冷卻下來。

　　二、加熱電源掉電

　　1、水壓低，當水壓低于0.15MPa，壓力表報警。

　　2、接地故障。

　　3、真空放電，水冷電極接頭與加熱器連接處必須連接牢固，與反射屏絕緣要好。

　　4、若爐內壓力為13.3-66.5Pa時(此真空度容易發生放電)。電源出現故障，掉電的原因可以認為由于電介質擊穿而引起的放電。

　　三、充氣氣體停止

　　1、抽真空開始前，氣體充入時間長或者無法充入時，請確認氣體管路是否被堵塞。

　　2、如氣體管路沒問題，檢查電磁閥及氣體充氣閥的動作，為了安全與其相關聯的設備要全部停止后再進行檢查。

　　3、向真空室內充氣不能停止的情況下，泄壓閥動作如泄壓閥動作時，要關閉氣體供給閥及配管在內的所有氣體系統。

　　4、確認氣體充氣配管是否有漏氣的地方，如有會影響制品質量。